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王竹林

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：大连理工大学工程力学系工业装备结构分析国家重点实验室更多>>
发文基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇云纹法
  • 1篇采样

机构

  • 1篇大连理工大学
  • 1篇内蒙古工业大...

作者

  • 1篇赵燕茹
  • 1篇雷振坤
  • 1篇王竹林

传媒

  • 1篇实验力学

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
高频光栅节距误差的采样云纹法分析被引量：1
2013年
使用采样云纹法来研究高频光栅节距的畸变程度。用电子束刻蚀的3922 line/mm的平行光栅,对其高分辨率扫描电镜图像进行采样和相移分析,得到对应的相位分布,进而转化为相对误差。对于正交光栅,分别进行水平和垂直方向线性滤波后转化为对应的平行光栅,进而得到相对误差分布,并提出误差统计分析来评价光栅质量。理论和实验验证表明采样云纹法可为高频光栅提供评价手段。
王竹林雷振坤赵燕茹
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共1页<1>
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