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高欣欣

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：大连理工大学物理与光电工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇甚高频
  • 1篇纳米硅
  • 1篇纳米硅薄膜
  • 1篇硅薄膜
  • 1篇硅烷
  • 1篇放电

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇庄娟
  • 1篇王德真
  • 1篇王艳辉
  • 1篇高欣欣

传媒

  • 1篇核聚变与等离...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
甚高频放电加速纳米硅薄膜沉积速度的机理研究
2009年
建立一维自洽流体模型,对低压甚高频等离子体放电中产生的主要粒子建立连续性方程、动量方程和电流平衡方程。分析了甚高频对纳米粒子的种子离子SiH3-及电子和正离子SiH3+的影响,给出了种子离子、电子以及正离子密度随频率变化的时空演化过程。结果表明改变频率可以改变SiH3-的密度,从而控制粒子的成核及生长。同时甚高频放电也改变了等离子体中电子和正离子密度以及电场的强度,从而加快等离子体中的化学反应速度和纳米粒子的沉积速度。
庄娟王德真高欣欣王艳辉
关键词：硅烷纳米硅
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