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刘鑫

作品数：45 被引量：31H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金四川省应用基础研究计划项目国防基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 37篇专利
  • 7篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 13篇电子电信
  • 7篇理学
  • 5篇机械工程
  • 4篇自动化与计算...
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇化学工程
  • 1篇生物学

主题

  • 13篇掩模
  • 12篇光学
  • 11篇衍射
  • 10篇透镜
  • 7篇光刻
  • 7篇光刻胶
  • 7篇光学元件
  • 6篇掩模版
  • 5篇衍射透镜
  • 5篇紫外固化
  • 5篇微透镜
  • 5篇纳米
  • 4篇硬质材料
  • 4篇微纳米结构
  • 4篇面形
  • 4篇基底
  • 3篇掩膜
  • 3篇掩膜版
  • 3篇预紧
  • 3篇阵列

机构

  • 45篇中国科学院
  • 5篇中国科学院大...
  • 1篇西南交通大学

作者

  • 45篇刘鑫
  • 31篇范斌
  • 21篇边疆
  • 19篇雷柏平
  • 18篇杜俊峰
  • 9篇李敏
  • 7篇李志炜
  • 5篇汪利华
  • 5篇史立芳
  • 5篇邓启凌
  • 5篇张满
  • 4篇曹阿秀
  • 2篇李新阳
  • 2篇陈强
  • 2篇庞辉
  • 2篇鲜浩
  • 2篇何渝
  • 2篇杨虎
  • 2篇张俊波
  • 2篇杜睿

传媒

  • 4篇光子学报
  • 2篇光电工程
  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2024
  • 8篇2023
  • 6篇2022
  • 5篇2021
  • 11篇2020
  • 6篇2019
  • 3篇2018
  • 3篇2017
  • 2篇2016
共 45 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种提高模板转印柔性衬底微结构位置精度的方法
本发明提供了一种提高模板转印柔性衬底微结构位置精度的方法，先将微孔陶瓷吸附板贴于微结构柔性衬底表面，抽真空使微结构柔性衬底上表面被牢牢吸附于微孔陶瓷吸附板表面，然后通过物理或化学手段使微结构柔性衬底下表面与微结构刚性模板...
高国涵范斌李志炜刘鑫
用于高分辨率成像的超薄复合材料衍射透镜及其制备方法
本发明提供了一种用于高分辨率成像的超薄复合材料衍射透镜及其制备方法，该超薄复合材料衍射透镜由高强度的超薄玻璃支撑层(1)、导电膜温度控制层(2)、柔性高分子聚合物防爆层(3)、基板面形补偿层(4)、衍射功能层(5)五层结...
刘鑫杜俊峰边疆雷柏平范斌
文献传递
一种大口径拼接望远镜的次镜装调方法
本发明涉及一种大口径拼接望远镜的次镜装调方法，包括：(1)根据拼接子镜远场成像光斑开展次镜初始寻焦；(2)对拼接子镜进行粗调，获得各个子镜的远场光斑并编号；(3)根据拼接子镜的成像光斑进行次镜位置粗调，判断粗调结果是否满...
李敏刘鑫张昂张俊波鲜浩
一种用于柔性薄膜衬底接触式光刻的真空贴附装置
本发明提供了一种用于柔性薄膜衬底接触式光刻的真空贴附装置，包括真空泵、机架、挡板阀、支撑台限位器、真空腔体、掩膜支撑台、放气阀、真空计、顶压机构、密封门开合机构、密封门、薄膜支架、柔性薄膜、密封垫、光刻掩膜版。其中掩膜支...
高国涵范斌李志炜雷柏平边疆刘鑫
文献传递
一种用于光学曝光的高分辨率柔性复合掩模板及其制备方法
本发明提供一种用于光学曝光的高分辨率柔性复合掩模板及其制备方法，该柔性复合掩模板由柔性高分子聚合物缓冲层(1)、高杨氏模量的高分子聚合物结构层(2)、金属掩蔽层(3)三层结构组成。缓冲层的低杨氏模量可保证复合模板的可弯曲...
邓启凌刘鑫张满秦燕云史立芳曹阿秀
一种用于光学元件刻蚀加工的掩蔽层制作方法
本发明涉及一种用于光学元件刻蚀加工的掩蔽层制作方法，解决了传统的光学元件掩蔽层制作方法中，手工裁剪精度低、掩蔽层与工件表面上的掩蔽层区域对准误差大、手工裁剪及油墨打印的方法难以适用于制作曲面工件掩蔽层的问题。本发明提供的...
范斌吴湘辛强刘鑫焦培琦梁钊宇邵俊铭高国涵毛丹波殷家家
一种制备连续面形菲涅尔透镜的方法
本发明提供了一种制备连续面形菲涅尔透镜的方法，包括：连续面形菲涅尔透镜母版制作和连续面形菲涅尔透镜流延复制。具体包括环带凹槽模具、紫外固化胶滴注、紫外固化胶旋转固化、连续面形母版、胶液流延固化、连续面形菲涅尔透镜。工作流...
高国涵杜俊峰边疆范斌刘盾罗倩石恒汪利华刘鑫张福
文献传递
一种实现分立式变形镜表面连续化的方法
本发明提供了一种实现分立式变形镜表面连续化的方法，首先加工出弹性镂空支架，然后将柔性光学薄膜支撑固定于弹性镂空支架上表面，通过旋涂工艺将紫外固化胶液涂覆于柔性光学薄膜上表面。将柔性光学薄膜翻转使其有胶一面接触分立式变形镜...
高国涵杜俊峰边疆雷柏平范斌毛丹波殷家家刘鑫石恒刘盾
一种用于光束均匀化的随机微透镜阵列结构及其制作方法
本发明公开了一种用于光束均匀化的随机微透镜阵列结构及其制作方法，该结构包括玻璃材料基板及其表面的随机微透镜阵列结构，且这些微透镜的尺寸和位置均随机分布。该光束均匀化结构利用尺寸和位置均随机分布的微透镜将照射到其表面的入射...
刘鑫巩畅畅范斌边疆雷柏平
文献传递
基于瑞利-索墨菲积分的大角度激光分束器设计被引量：2
2017年
针对目前激光分束器只能产生小发散角的问题,基于严格的非傍轴近似的衍射积分公式,提出了一种大发散角分束器的设计方法.先对目标光场分布进行坐标和光强修整,再利用改进的GerchbergSaxton迭代算法得到所需分束器的相位分布.分别采用本文设计方法和原有方法设计了发散全角为40°×40°的5×5分束器,仿真和实验结果表明:原有方法设计得到的5×5子光束存在着显著的枕形畸变,并且光强分布不均匀.而本文方法设计得到的子光束呈均匀等间隔排列,并且强度分布更为均匀.
王广逸庞辉王佳舟张满刘鑫史立芳吴向东邓启凌
关键词：衍射光学元件衍射光学光栅
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