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李辛
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国航空工业集团公司
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
吴晓鸣
中国航空工业集团公司
焦宏飞
同济大学理学院精密光学工程技术...
王一坚
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2016
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大尺寸1064nm波段HfO_2/SiO_2高损伤阈值窄带滤光片的研制
被引量:3
2016年
对大型固体激光装置中的关键器件—大尺寸1064 nm波段Hf O2/Si O2窄带滤光片进行了研究,分析了监控波长对信噪比和光源稳定性的影响。通过优化监控参数,设备监控精度可达到镀制窄带滤光片的需求。制备过程中的薄膜光谱分析表明:随着蒸镀过程的进行,氧化铪(Hf O2)的实际厚度会逐渐小于设计值,而二氧化硅(Si O2)的实际厚度则会逐渐大于设计值;这种变化趋势导致的厚度误差会严重影响带通的波形;另外掩模板造成的厚度误差也是影响带通波纹的重要因素之一。通过分析研究和优化以上因素,制备了半峰全宽为5 nm、通光口径达200 mm×200 mm、在1064 nm处损伤阈值高于19.5 J/cm^2(3 ns)的窄带滤光元件。
吴晓鸣
李辛
王一坚
焦宏飞
关键词:
光学器件
波动光学
窄带滤光片
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