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杨玲
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
北方夜视技术股份有限公司
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发文基金:
咸阳师范学院科研基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
李军国
北方夜视技术股份有限公司
王益军
咸阳师范学院物理与电子工程学院...
严诚
北方夜视技术股份有限公司
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严诚
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咸阳师范学院...
年份
1篇
2007
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离子束辅助沉积镍铬合金膜研究
被引量:2
2007年
分析了电子束沉积镍铬合金膜沉积的主要缺点,提出离子辅助电子束法沉积镍铬合金膜的新方法。利用氩离子辅助在微通道板表面沉积了镍铬合金膜,对比和分析了使用氩离子辅助沉积和电子束沉积薄膜的性质(附着力、致密性、表面电阻等)。结果表明,使用250eV的氩离子源辅助沉积的镍铬合金膜附着力好、结构致密、表面电阻低。
王益军
严诚
邓光绪
李军国
杨玲
关键词:
离子束辅助沉积
微通道板
附着力
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