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牛孝昊

作品数：1 被引量：6H指数：1
供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院材料物理与化学系更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇等离子增强化...
  • 1篇性能研究
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇钨

机构

  • 1篇北京科技大学

作者

  • 1篇陆永浩
  • 1篇王燕斌
  • 1篇杨会生
  • 1篇熊小涛
  • 1篇罗庆洪
  • 1篇牛孝昊

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究被引量：6
2007年
为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜(DLC)耐磨镀层的实际需求,对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜(W-DLC)中掺钨进行了系统研究。研究结果表明,类金刚石薄膜掺入钨,在较宽的工艺条件范围内,都可以沉积厚度超过5μm的薄膜而不发生剥落。适当控制工艺条件和膜中钨的含量可以提高薄膜的硬度,降低磨损率,且保持低的摩擦系数和较高的沉积速率。
牛孝昊罗庆洪杨会生陆永浩熊小涛王燕斌
关键词：等离子增强化学气相沉积
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共1页<1>
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