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王小捧
作品数:
1
被引量:7
H指数:1
供职机构:
河北工业大学电子信息工程学院
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
宫云梅
河北工业大学
孙以材
河北工业大学
赵卫萍
河北工业大学信息工程学院
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孙以材
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宫云梅
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王小捧
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传感器世界
年份
1篇
2005
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用溅射法制备ZnO薄膜丙酮气敏传感器
被引量:7
2005年
本文首先扼要介绍了ZnO的晶体结构以及作为压电、压敏、发光、透明导电薄膜的用途。还介绍了两种溅射方法制备ZnO薄膜。研究了ZnO薄膜的气敏性,发现经适当处理后仅对丙酮有择优气敏性。
赵卫萍
孙以材
王小捧
宫云梅
关键词:
气敏传感器
溅射
丙酮
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