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高斌
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
温州职业技术学院
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发文基金:
山东省自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
刘军营
山东理工大学机械工程学院
田忠强
山东理工大学机械工程学院
杨先海
山东理工大学机械工程学院
程祥
山东理工大学机械工程学院
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高斌
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2012
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微细塑性铣削单晶硅实验研究
被引量:4
2012年
为了深入探讨塑性铣削单晶硅的切削机理,对单晶硅进行了微细铣削实验研究.结果表明,合理地设定铣削参数与保证特定的铣削环境都很重要,在这个前提下,可以实现塑性切削,在单晶硅上获得具有完整几何外形的特征,同时表面质量可以达到单纳米级别.
程祥
高斌
杨先海
刘军营
田忠强
关键词:
微细加工
微细铣削
单晶硅
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