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刘家富
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
山东大学
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发文基金:
山东省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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葛培琪
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孟剑峰
山东大学
李剑峰
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刘家富
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1篇
中国机械工程
年份
1篇
2007
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硅晶体线锯切片损伤层厚度的有限元分析
被引量:4
2007年
根据测量的锯切力,求出线锯圆周上不同位置处磨粒所受力。将多个磨粒产生的法向力及切向力作用于三维有限元模型,考虑多磨粒的耦合作用,分析切割区的应力场,从而提出了硅晶体线锯切片的损伤层厚度分析模型,实验验证了该模型的正确性。该模型克服了损伤层厚度实验耗资大、费时、损害工件等缺点。同时分析得出,在恒压力进给条件下,随着线锯速度的增加,损伤层厚度略有减小。
孟剑峰
葛培琪
李剑峰
刘家富
关键词:
硅晶体
有限元分析
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