王鸣
- 作品数:5 被引量:5H指数:1
- 供职机构:中国科学院金属研究所更多>>
- 发文基金:国家重点基础研究发展计划长江学者和创新团队发展计划更多>>
- 相关领域:金属学及工艺冶金工程电子电信更多>>
- 高电流密度交流电下金互连线的失效行为
- 2010年
- 通过对200nm厚,2μm宽的金互连线施加高电流密度交流电,研究该互连线的失效行为.通过解析金互连线在交流电作用下失效熔化过程的温度场模型,得到了高电流密度下的金线失效熔化过程温度场的解析解.实验数据与理论计算值的对比表明,在高电流密度交流电加载下,由于金互连线的局部过热,导致其中间熔断而造成失效,而不是由热疲劳导致的损伤.
- 王鸣张滨刘常升张广平
- 关键词:电流密度交流电温度场
- 一种无包套TiAl合金大尺寸饼坯的锻造方法及应用
- 本发明属于Ti‑Al金属间化合物热加工技术领域,具体涉及到一种无包套TiAl合金大尺寸饼坯的锻造方法及应用。将坯料预热800~900℃/30~60分钟,出炉后滚涂2~3mm厚度玻璃润滑粉,利用玻璃润滑粉高温黏性快速贴合相...
- 刘冬董志国王鸣刘亮亮王亚然刘仁慈崔玉友
- 文献传递
- 交流电诱发金属互连线热疲劳可靠性的尺度定律
- <正>随着微电子及微/纳器件高性能的不断提升,作为芯片中关健材料之一的金属互连线的特征尺寸也在不断减小,其在电/热/力多场耦合作用下的可靠性面临越来越严重的成胁。由于互连线热疲劳损伤的萌生无法测量和探测,目前人们始终未能...
- 张滨王鸣罗雪梅刘常升张广平
- 关键词:多场耦合热疲劳金属薄膜尺寸效应
- 文献传递
- 交流电作用下Au薄膜热疲劳失效行为的研究被引量:5
- 2011年
- 本文研究了交流电致循环热应变作用下200 nm厚Au薄膜的失效行为.结合实验结果和理论计算,确定了交流电作用下6μm宽Au薄膜导线上的温度分布,并由此确定了Au互连线在交流电作用下达到稳定状态后的循环热应变范围.结果表明,应变范围△ε≤0.35%,经过5×10~6cyc热循环后,Au互连线中的晶粒出现不同程度的增长,晶界损伤导致Au互连线的最终失效.对Au薄膜热疲劳、机械疲劳失效行为及其机制进行了分析.
- 王鸣张滨刘常升张广平
- 关键词:交流电热疲劳
- 一种无包套TiAl合金大尺寸饼坯的锻造方法及应用
- 本发明属于Ti‑Al金属间化合物热加工技术领域,具体涉及到一种无包套TiAl合金大尺寸饼坯的锻造方法及应用。将坯料预热800~900℃/30~60分钟,出炉后滚涂2~3mm厚度玻璃润滑粉,利用玻璃润滑粉高温黏性快速贴合相...
- 刘冬董志国王鸣刘亮亮王亚然刘仁慈崔玉友
- 文献传递