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陈斌

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 1篇元器件
  • 1篇离子束
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇可靠性
  • 1篇FIB

机构

  • 1篇中国科学院
  • 1篇上海微小卫星...

作者

  • 1篇崔帅
  • 1篇李志勇
  • 1篇曹德峰
  • 1篇陈斌

传媒

  • 1篇环境技术

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
聚焦离子束加工技术在元器件可靠性领域中的应用研究被引量：4
2016年
FIB技术通过截面加工实现部分失效样品的原位观察,通过截面加工获得的图像获取相关信息;能够进行TEM制样,是材料微分析领域中不可缺少的分析技术;能够进行纳米器件加工,是微加工领域的一种新型技术。FIB技术可操作性强、样品损伤小,对航天型号元器件可靠性质量保证技术具有一定的指导意义。
崔帅曹德峰李志勇陈斌
关键词：FIB
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