张庆东
- 作品数：4 被引量：2H指数：1
- 供职机构：江南大学信息工程学院更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”教育部留学回国人员科研启动基金江苏省高等学校大学生实践创新训练计划项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 纳米级应变硅MOSFET的有限元与TCAD模拟研究
- 2011年
- 基于有限元方法对一款具有SiGe源/漏结构的纳米PMOSEFT进行了建模与分析,沟道应变的计算结果与CBED实验测量值呈现良好的一致性,最小误差仅为1.02×10-4。对新型的SiC源/漏结构的纳米NMOSFET的类似研究表明,栅长越短,应变对沟道的影响越显著。另一方面,采用TCAD工具Sentaurus通过工艺级仿真生成了栅长为50 nm的SiGe源/漏结构的PMOSFET模型,计算所得饱和驱动电流与实际制作的器件相差仅约20μA/μm。研究表明有限元法与TCAD两种模拟技术可有效地用于纳米级应变硅器件的设计与优化。
- 张庆东周东顾晓峰
- 关键词：应变硅金属氧化物半导体场效应管
- 基于SGOI和CESL结构的新型应变硅NMOSFET的有限元研究
- 2010年
- 应变硅技术通过在沟道区引入适当的应变,达到提高载流子迁移率、改善MOS器件性能的目的。利用有限元法,研究了一种基于SGOI与氮化硅CESL应变结构的新型应变硅NMOS-FET。结果表明,与采用单一的SGOI或CESL结构相比,两者共同作用下的新结构能更有效地提高沟道应变。增加氮化硅薄膜的本征应力、减小应变硅层厚度、适当提高锗组分,均能有效增加硅沟道区的应变量。采用有限元分析进行的模拟研究,可弥补实验测量的不足,为纳米级应变硅器件的设计和制造提供参考。
- 周东张庆东顾晓峰
- 关键词：应变硅有限元分析
- 多应力结构CMOS器件的模拟研究
- 2008年
- 使用TCAD仿真工具Sentaurus在45 nm节点工艺下模拟研究了包含多应力结构的应变Si CMOS器件。模拟所得的开关电流比与相同节点工艺下报道的实验结果能很好吻合,验证了所用模型及方法的正确性。用Sentaurus工艺模拟工具得到了器件内部的应力和掺杂分布,并用Sentaurus器件模拟工具分析了各种应力结构对电学特性的影响。结果表明:在nMOS中,SMT和DSL能有效提高器件性能,而STI却会降低器件性能;在pMOS中,SiGe S/D和DSL的存在是性能改善的主要原因,而STI对性能改善的帮助较小。
- 施昊周东张庆东顾晓峰
- 关键词：应变硅互补金属氧化物半导体
- 应变硅NMOS晶体管沟道应变的模拟研究被引量：2
- 2009年
- 建立了一种基于硅/锗硅异质结构的应变硅NMOS晶体管的有限元模型,通过模拟研究了沟道区的应变分布及其与器件参数的关系。结果表明,提高锗硅虚拟衬底中锗的摩尔组分、减小应变硅层厚度,可以增加沟道应变。此外,应变量还随器件结构长度的增加而增加。研究结果可为应变硅器件的设计、工艺优化提供参考依据。
- 张庆东周东顾晓峰宋立凡于宗光
- 关键词：应变硅锗硅有限元
