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戎华
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李伟华
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2003
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SPICE中MEMS器件与电路系统的混合模拟方法
现今SPICE软件单元模型库中还未集成MEMS器件的宏模型,因此对于同时具有多个MEMS器件和处理电路的系统在描述上缺乏一致性,增加了系统级模拟的难度.本文针对因MEMS器件在系统中的特殊性而导致的对系统级模拟的复杂性,...
闻飞纳
李伟华
戎华
关键词:
MEMS器件
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