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曾一凡

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：江西农业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家留学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇抛光硅片
  • 1篇硅片
  • 1篇表面形貌
  • 1篇超声
  • 1篇超声振动

机构

  • 1篇江西农业大学

作者

  • 1篇杨卫平
  • 1篇刘曼利
  • 1篇曾一凡

传媒

  • 1篇中国机械工程

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
超声振动辅助固结磨粒抛光硅片表面形成机理及实验被引量：3
2016年
基于超声加工所具有的加工效率和加工表面质量高等特性,提出了一种超声振动辅助固结磨粒化学机械复合抛光硅片新技术。对抛光工具及复合抛光实验系统的建立进行了描述,在此基础上开展硅片抛光表面形貌及材料去除机理的理论及实验研究,得到不同抛光力下的研究结果。所建立的理论模型及实验结果表明,超声振动辅助固结磨粒抛光有利于硅片表面质量及材料去除率的提高,且随着抛光力的增大,抛光表面质量下降,材料去除效果提高。
曾一凡杨卫平吴勇波刘曼利
关键词：超声振动表面形貌
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共1页<1>
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