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沈文清

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院更多>>
发文基金：安徽省科技攻关计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇微机械
  • 1篇谐振频率
  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇加速度
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇传感器设计

机构

  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇胡芳菲
  • 1篇沈文清

传媒

  • 1篇电子科技

年份

  • 1篇2014
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排序方式：
微机械双轴电容式加速度传感器设计
2014年
设计一款机械噪声较小、灵敏度较高的双轴电容式加速度传感器,其具有4个水平检测单元,X、Y轴向的检测单元各有两组,且水平对称,有效地消除了轴间的交叉干扰;结构中的保护限位装置避免了结构因加速度值过大而断裂失效和结构测量的不准确。该加速度敏感质量块的大小为3 250μm×3 250μm×5μm;栅型条的尺寸大小为1 575μm×35μm×5μm;间距为35μm,利用Ansys软件对加速度传感器进行性能仿真,得出加速度传感器X和Y轴向的静态灵敏度为0.253μm/g;电容灵敏度为1.533 pF/g;X和Y轴向的谐振频率为949 Hz,阻尼比为0.83。
沈文清胡芳菲
关键词：传感器灵敏度谐振频率
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共1页<1>
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