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聂鑫
作品数:
1
被引量:8
H指数:1
供职机构:
长春理工大学光电工程学院
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发文基金:
吉林省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
杨红芳
长春理工大学光电工程学院
高龙
长春理工大学光电工程学院
薛常喜
长春理工大学光电工程学院
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光学学报
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1篇
2015
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偏心误差对长波红外波段多层衍射光学元件衍射效率的影响
被引量:8
2015年
基于衍射光学元件的相位延迟和衍射效率表达式,推导出了含有偏心误差的多层衍射光学元件衍射效率表达式。建立了含有偏心误差的多层衍射光学元件衍射效率的数学模型,分析了偏心误差对多层衍射光学元件衍射效率及多色光积分衍射效率的影响。以在8-12μm波段内的硫化锌(Zn S)和锗(Ge)为基底材料构成的多层衍射光学元件为例,其设计波长对为8.79μm、11.11μm,构成多层衍射光学元件的两层谐衍射元件微结构高度为78.3391μm、34.6076μm,当多层衍射光学元件的环带宽度分别为500μm和1000μm时,其衍射效率达到95%以上时,偏心误差须分别控制在5.8μm和11.17μm以内。该含有偏心误差的多层衍射光学元件的衍射效率分析模型对于多层衍射光学元件的设计与加工具有重要意义。
高龙
薛常喜
杨红芳
聂鑫
关键词:
光学器件
红外波段
衍射效率
偏心误差
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