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赵海龙

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇失效模式
  • 1篇可靠性
  • 1篇加速度
  • 1篇加速度计
  • 1篇MEMS加速...

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇张瑞霞
  • 1篇赵海龙
  • 1篇张魁

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS加速度计可靠性评价技术被引量：5
2014年
MEMS加速度计是动作识别设备、姿态控制设备等电子设备的核心器件,其功能失效会严重影响设备的可靠性。而目前国内外还没有MEMS器件的可靠性实验标准,这在一定程度上制约了MEMS加速度计的应用与发展。针对该现状,深入研究了MEMS加速度计敏感部件的失效模式及失效机理,得到了典型环境应力与器件失效的关系,分析了加载环境应力可能导致器件失效的环境实验,并选取了相应的MEMS加速度计产品进行了可靠性实验验证,得出了MEMS加速度计可靠性评价的初步试行方案。
张瑞霞张魁赵海龙
关键词：MEMS加速度计失效模式
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