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郝芳
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
杭州电子科技大学电子信息学院
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发文基金:
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
陈敏梅
杭州电子科技大学电子信息学院
冯丹丹
杭州电子科技大学电子信息学院
袁苑
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
席俊华
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
季振国
杭州电子科技大学电子信息学院
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2008
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利用HRXRD和UV-Vis反射光谱确定AlGaN/GaN/Al2O3的结构与成分
被引量:1
2008年
结合紫外-可见光谱和高分辨XRD两种测试方法,无损、可靠地确定了AlGaN/GaN HEMT结构内各层的厚度、成分、应力等参数,解决了高分辨XRD无法同时确定成分与应力的难题。这两种方法的好处是样品不需经过特殊的处理,也不需进行切割、减薄等工艺,具有快速、无损、准确的特点,可以作为AlGaN/GaNHEMT器件的筛选工具,提高器件的成品率、降低生产成本。
季振国
冯丹丹
席俊华
毛启楠
袁苑
郝芳
陈敏梅
关键词:
X射线衍射
无损检测
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