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陈润
作品数:
16
被引量:17
H指数:2
供职机构:
广东工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家教育部博士点基金
广东省自然科学基金
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相关领域:
机械工程
电子电信
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合作作者
阎秋生
广东工业大学机电工程学院
路家斌
广东工业大学
肖晓兰
广东工业大学
潘继生
广东工业大学机电工程学院
张晓伟
广东工业大学
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作者
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于鹏
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王灿明
传媒
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广东工业大学...
年份
4篇
2018
2篇
2017
10篇
2016
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一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法
本发明公开了一种磁流变流体动压复合抛光装置,包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘、磁性体和待抛光件,所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动,所述磁性体设于所述抛光盘的下方,所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上,所述工...
路家斌
梁华卓
阎秋生
陈润
文献传递
基于芬顿反应的单晶SiC化学机械抛光加工研究
单晶SiC作为第三代半导体材料,因具备禁带宽度大、击穿电场高、热导率大、电子饱和漂移速率高、抗辐射能力强等优越性能,是固态光源和电力电子、微波射频器件的“核芯”,在半导体照明、新一代移动通信、能源互联网、高速轨道交通、新...
陈润
关键词:
芬顿反应
羟基自由基
化学机械抛光
半导体材料
一种针对集群微孔的自增压高速磨粒流抛光装置
本实用新型提供了一种针对集群微孔的自增压高速磨粒流抛光装置,其包括两组对称设置于被加工工件的左右两端的流体增压加速机构、夹具及保护架;所述保护架匹配地设置于工件的左右两端且与工件孔相连通;所述流体增压加速机构包括流体增压...
陈润
路家斌
阎秋生
张晓伟
梁华卓
文献传递
一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法
本发明提供了一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法,其核心配方由A、B两部分构成,A配方包含3wt%~10wt%的磨粒、5wt%~30wt%的磁性微粒、1wt%~10wt%的分散稳定剂、基载液;B配方包含...
肖晓兰
阎秋生
潘继生
路家斌
陈润
梁华卓
文献传递
超精密磁流变复合抛光技术研究进展
被引量:14
2016年
对超精密磁流变复合抛光技术的国内外研究进展进行了评述,介绍了当前主要应用的几种超精密磁流变复合抛光技术的加工原理和发展现状.重点介绍了磁流变射流复合抛光、超声波磁流变复合抛光、化学机械磁流变复合抛光以及集群磁流变复合抛光的加工技术内涵,从加工效率、加工表面均匀性、加工精度、加工适合的材料与形状等方面对上述几类超精密磁流变复合抛光方法进行比较和评述.最后对超光滑无损伤超精密磁流变抛光技术的发展方向进行了预测.
肖晓兰
阎秋生
潘继生
于鹏
梁华卓
陈润
关键词:
超精密
磁流变
复合抛光
一种半导体基片的流体动压抛光装置及其抛光方法
本发明公开了一种半导体基片的流体动压抛光装置,包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘和待抛光件,所述第一转轴和第二转轴相互平行,且所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动,所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上,所述工件盘...
路家斌
梁华卓
阎秋生
陈润
文献传递
一种自增压高速磨粒流孔内表面抛光装置
本发明提供了一种自增压高速磨粒流孔内表面抛光装置,其包括两组对称设置于被加工工件的左右两端的流体增压加速机构及夹具,所述流体增压加速机构包括流体增压加速腔体、活塞缸、活塞、活塞杆和驱动单元,所述流体增压加速腔体的一端通过...
路家斌
陈润
阎秋生
肖晓兰
梁华卓
文献传递
一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法
本发明提供了一种用于SiC单晶片的磁流变化学机械抛光液及其使用方法,其核心配方由A、B两部分构成,A配方包含3wt%~10wt%的磨粒、5wt%~30wt%的磁性微粒、1wt%~10wt%的分散稳定剂、基载液;B配方包含...
肖晓兰
阎秋生
潘继生
路家斌
陈润
梁华卓
文献传递
一种磁流变流体动压复合抛光装置
本实用新型公开了一种磁流变流体动压复合抛光装置,包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘、磁性体和待抛光件,所述抛光盘的上表面沿圆周方向设有多个楔形结构,所述楔形结构包括销轴和楔块,所述销轴固定安装于所述抛光盘的上...
梁华卓
路家斌
阎秋生
陈润
文献传递
一种磁流变流体动压复合抛光装置及其抛光方法
本发明公开了一种磁流变流体动压复合抛光装置,包括抛光盘、第一转轴、抛光液、第二转轴、工件盘、磁性体和待抛光件,所述第二转轴向第一转轴方向水平滑动,所述磁性体设于所述抛光盘的下方,所述抛光盘固定安装于所述第一转轴上,所述工...
路家斌
梁华卓
阎秋生
陈润
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