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陈熙

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇椭偏测量
  • 1篇计量学
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻胶
  • 1篇光谱
  • 1篇光学
  • 1篇光学常数
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性质

机构

  • 1篇中国计量科学...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇于靖
  • 1篇刘文德
  • 1篇王煜
  • 1篇郑春弟
  • 1篇陈赤
  • 1篇陈熙

传媒

  • 1篇计量学报

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
光刻胶光学性质的光谱椭偏测量方法研究被引量：2
2011年
利用相调制型光谱椭偏仪研究了光刻胶光学常数的测量方法，针对测量过程中光刻胶曝光控制优化了测量方案和仪器参数。对常见的$9912正型光刻胶，给出了曝光前后275～650nm波段的光学常数。并采用动态椭偏法测量了所需波长下曝光前的光学常数。实验结果表明：该测量方法适用于光刻胶在紫外一可见．红外宽波段的光学性质研究，在光刻模拟、新型光刻胶材料研制及其光学性质表征等领域有重要实用价值。
刘文德陈赤陈熙于靖郑春弟王煜
关键词：计量学光刻胶光学常数
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共1页<1>
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