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唐明
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17
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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相关领域:
化学工程
理学
文化科学
自动化与计算机技术
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合作作者
王震
中国工程物理研究院激光聚变研究...
罗晋
中国工程物理研究院激光聚变研究...
卫耀伟
中国工程物理研究院激光聚变研究...
吴倩
中国工程物理研究院激光聚变研究...
张飞
中国工程物理研究院激光聚变研究...
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一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法
本发明公开了一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法,采用了镀膜过程基片面形和高低折射率膜层的综合控制方法:镀膜前针对基片在镀膜过程的形变,采用基片预先翻面退火的方法控制抵消镀膜过程中的基片面形受热引起的变化;采用调节充氧...
潘峰
王健
刘民才
吴倩
罗晋
唐明
王震
张飞
张清华
卫耀伟
李树刚
文献传递
薄膜介质材料本征禁带宽度的确定方法、装置及设备
本申请提供了一种薄膜介质材料本征禁带宽度的确定方法、装置、及设备,其中,该方法包括:对待测量单晶或多晶态薄膜介质材料进行椭偏测量,得到椭偏测量参数;基于预先构建的测量模型,生成椭偏模拟参数;根据椭偏测量参数以及椭偏模拟参...
胡建平
王健
许乔
张飞
唐明
大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法
本申请公开一种大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法。大口径光学元件清洗装置,包括夹持机构、翻转架、翻转驱动部和竖向旋转部。夹持机构用于夹持光学元件,夹持机构可转动地设于翻转架上,翻转驱动部设于翻转架且驱动夹持...
王震
许乔
卫耀伟
王健
李树刚
刘民才
张飞
唐明
吴倩
罗晋
罗振飞
周永勤
程建国
白友民
文献传递
一种光学元件全口径镀膜装置及其方法
本发明适用于光学元件镀膜技术领域,提供了一种光学元件全口径镀膜装置及其方法,该镀膜装置包括夹持工装主体、夹持组件、侧面板、至少一个顶紧组件;所述夹持工装主体包括基板、至少两个限位块,所述基板上设置有容纳孔,所述限位块对称...
王震
卫耀伟
许乔
张飞
吴倩
罗晋
李树刚
罗振飞
唐明
刘民才
文献传递
制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜
一种制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜,属于光学设备领域。该方法包括:在基板之上,制作满足光谱指标的第一膜堆;在第一膜堆之上,制作满足面形指标的第二膜堆;在所述第二膜堆之上,制作满足损伤指标的第三膜堆。通...
卫耀伟
王震
张飞
李树刚
唐明
吴倩
潘峰
罗晋
罗振飞
刘民才
张清华
王健
许乔
文献传递
一种元件激光损伤测量方法及装置
本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时,对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照,并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤,同时在线获取每一次辐照时的激光能量...
张哲
潘峰
刘志超
郑轶
汤鹏
唐明
罗晋
吴倩
卫耀伟
张飞
王震
一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置
本申请提供一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置,应用于对反向行星式旋转镀膜工艺中遮蔽板的形状进行确定,所述方法包括:获取待镀膜元件上多个待镀膜点的初始膜厚,以及获取待镀膜元件的尺寸和镀膜设备的尺寸;根据所述待镀膜元件的尺寸...
罗晋
张飞
卫耀伟
李树刚
李海波
李洁
唐明
王震
吴倩
潘峰
罗振飞
胡建平
张清华
刘民才
王健
一种光学元件全口径镀膜装置及其方法
本发明适用于光学元件镀膜技术领域,提供了一种光学元件全口径镀膜装置及其方法,该镀膜装置包括夹持工装主体、夹持组件、侧面板、至少一个顶紧组件;所述夹持工装主体包括基板、至少两个限位块,所述基板上设置有容纳孔,所述限位块对称...
王震
卫耀伟
许乔
张飞
吴倩
罗晋
李树刚
罗振飞
唐明
刘民才
文献传递
一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统
本发明实施例提供了一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统,属于光学薄膜沉积扫描控制技术领域。所述方法包括:光电探测器将采集到的预设扫描区域内镀膜材料在电子束光斑扫描下熔化或升华时发出的光信号转化为电信号发送到数据处理装置;数...
王震
张清华
吴倩
罗晋
卫耀伟
潘峰
唐明
刘志超
郑轶
李树刚
张哲
欧阳升
汤鹏
文献传递
一种挡板修正方法、镀膜方法和装置
本申请提供一种挡板修正方法、镀膜方法和装置,用于对平面行星式旋转镀膜工艺中挡板的形状进行修正,所述方法包括:获取待镀膜元件上多个待遮挡点的镀膜轨迹,以及获取每一待遮挡点对应的原始膜厚,以及获取待修正挡板中与多个待遮挡点对...
罗晋
吴倩
王震
潘峰
罗振飞
杜雅薇
胡建平
卫耀伟
张飞
李树刚
唐明
王健
张清华
刘民才
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