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唐明

作品数:17 被引量:0H指数:0
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心更多>>
相关领域:化学工程理学文化科学自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 17篇中文专利

领域

  • 4篇化学工程
  • 2篇理学
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇文化科学

主题

  • 11篇镀膜
  • 7篇光学
  • 4篇镀膜工艺
  • 4篇行星
  • 4篇面形
  • 4篇膜厚
  • 4篇激光
  • 4篇光学薄膜
  • 4篇反射镜
  • 4篇大口径
  • 3篇全口径
  • 3篇口径
  • 3篇光谱
  • 3篇光学元件
  • 2篇挡板
  • 2篇电子枪
  • 2篇镀膜材料
  • 2篇镀膜技术
  • 2篇镀膜设备
  • 2篇元件

机构

  • 17篇中国工程物理...

作者

  • 17篇唐明
  • 16篇吴倩
  • 16篇卫耀伟
  • 16篇罗晋
  • 16篇王震
  • 15篇张飞
  • 14篇李树刚
  • 12篇潘峰
  • 11篇王健
  • 11篇张清华
  • 11篇刘民才
  • 10篇罗振飞
  • 6篇许乔
  • 4篇张哲
  • 4篇郑轶
  • 4篇汤鹏
  • 4篇刘志超
  • 2篇李洁
  • 2篇欧阳升

年份

  • 1篇2023
  • 6篇2022
  • 1篇2021
  • 5篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 1篇2016
17 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法
本发明公开了一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法,采用了镀膜过程基片面形和高低折射率膜层的综合控制方法:镀膜前针对基片在镀膜过程的形变,采用基片预先翻面退火的方法控制抵消镀膜过程中的基片面形受热引起的变化;采用调节充氧...
潘峰王健刘民才吴倩罗晋唐明王震张飞张清华卫耀伟李树刚
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薄膜介质材料本征禁带宽度的确定方法、装置及设备
本申请提供了一种薄膜介质材料本征禁带宽度的确定方法、装置、及设备,其中,该方法包括:对待测量单晶或多晶态薄膜介质材料进行椭偏测量,得到椭偏测量参数;基于预先构建的测量模型,生成椭偏模拟参数;根据椭偏测量参数以及椭偏模拟参...
胡建平王健许乔张飞唐明
大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法
本申请公开一种大口径光学元件清洗装置及大口径光学元件的清洗方法。大口径光学元件清洗装置,包括夹持机构、翻转架、翻转驱动部和竖向旋转部。夹持机构用于夹持光学元件,夹持机构可转动地设于翻转架上,翻转驱动部设于翻转架且驱动夹持...
王震许乔卫耀伟王健李树刚刘民才张飞唐明吴倩罗晋罗振飞周永勤程建国白友民
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一种光学元件全口径镀膜装置及其方法
本发明适用于光学元件镀膜技术领域,提供了一种光学元件全口径镀膜装置及其方法,该镀膜装置包括夹持工装主体、夹持组件、侧面板、至少一个顶紧组件;所述夹持工装主体包括基板、至少两个限位块,所述基板上设置有容纳孔,所述限位块对称...
王震卫耀伟许乔张飞吴倩罗晋李树刚罗振飞唐明刘民才
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制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜
一种制作光学薄膜的方法、膜系结构、镀膜方法、激光反射镜,属于光学设备领域。该方法包括:在基板之上,制作满足光谱指标的第一膜堆;在第一膜堆之上,制作满足面形指标的第二膜堆;在所述第二膜堆之上,制作满足损伤指标的第三膜堆。通...
卫耀伟王震张飞李树刚唐明吴倩潘峰罗晋罗振飞刘民才张清华王健许乔
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一种元件激光损伤测量方法及装置
本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时,对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照,并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤,同时在线获取每一次辐照时的激光能量...
张哲潘峰刘志超郑轶汤鹏唐明罗晋吴倩卫耀伟张飞王震
一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置
本申请提供一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置,应用于对反向行星式旋转镀膜工艺中遮蔽板的形状进行确定,所述方法包括:获取待镀膜元件上多个待镀膜点的初始膜厚,以及获取待镀膜元件的尺寸和镀膜设备的尺寸;根据所述待镀膜元件的尺寸...
罗晋张飞卫耀伟李树刚李海波李洁唐明王震吴倩潘峰罗振飞胡建平张清华刘民才王健
一种光学元件全口径镀膜装置及其方法
本发明适用于光学元件镀膜技术领域,提供了一种光学元件全口径镀膜装置及其方法,该镀膜装置包括夹持工装主体、夹持组件、侧面板、至少一个顶紧组件;所述夹持工装主体包括基板、至少两个限位块,所述基板上设置有容纳孔,所述限位块对称...
王震卫耀伟许乔张飞吴倩罗晋李树刚罗振飞唐明刘民才
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一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统
本发明实施例提供了一种光学薄膜沉积扫描控制方法及系统,属于光学薄膜沉积扫描控制技术领域。所述方法包括:光电探测器将采集到的预设扫描区域内镀膜材料在电子束光斑扫描下熔化或升华时发出的光信号转化为电信号发送到数据处理装置;数...
王震张清华吴倩罗晋卫耀伟潘峰唐明刘志超郑轶李树刚张哲欧阳升汤鹏
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一种挡板修正方法、镀膜方法和装置
本申请提供一种挡板修正方法、镀膜方法和装置,用于对平面行星式旋转镀膜工艺中挡板的形状进行修正,所述方法包括:获取待镀膜元件上多个待遮挡点的镀膜轨迹,以及获取每一待遮挡点对应的原始膜厚,以及获取待修正挡板中与多个待遮挡点对...
罗晋吴倩王震潘峰罗振飞杜雅薇胡建平卫耀伟张飞李树刚唐明王健张清华刘民才
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共2页<12>
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