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柳森

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：吉林大学电子科学与工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇图案化
  • 1篇纳米
  • 1篇激光
  • 1篇激光加工
  • 1篇激光加工技术
  • 1篇激光诱导
  • 1篇飞秒
  • 1篇飞秒激光
  • 1篇飞秒激光诱导
  • 1篇布线

机构

  • 1篇吉林大学

作者

  • 1篇张永来
  • 1篇柳森
  • 1篇王欢

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2017
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
飞秒激光诱导金属银纳米布线加工精度的研究被引量：3
2017年
对飞秒激光诱导银纳米布线的加工精度进行研究,并将其应用于微纳器件的加工领域。对飞秒激光与银离子前驱体溶液的相互作用进行了实验,通过对飞秒激光功率、曝光时间、前驱体溶液中表面活性剂种类以及浓度的调控,利用扫描电子显微镜对布线结构进行表征,得到140nm宽的银纳米线。利用飞秒激光制备出一组银微纳图案和微型催化反应器。该研究为银微纳结构图案制备以及复杂衬底上金属功能器件集成提供了新的技术。
柳森王欢张永来
关键词：激光加工技术飞秒激光图案化
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共1页<1>
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