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梁飞

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：武汉理工大学信息工程学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子能
  • 1篇电子能谱
  • 1篇扫描电镜
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇射频磁控溅射...
  • 1篇射线衍射
  • 1篇拉曼
  • 1篇拉曼光谱
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇光电子能谱
  • 1篇光谱
  • 1篇X射线衍射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射法

机构

  • 1篇武汉理工大学

作者

  • 1篇赵青南
  • 1篇倪佳苗
  • 1篇梁飞

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积CeO_2薄膜的研究(英文)
2006年
二氧化铈具有高折射率、介电常数和紫外吸收率,因此它广泛地应用于各种光学和电子器件。本文采用射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积CeO2薄膜。溅射过程中,首先制备纯二氧化铈靶材,然后在不同的功率上调节不同的基片温度进行溅射。采用光电子能谱、X射线衍射、拉曼光谱和扫描电镜等测试方法表征薄膜的特性。
梁飞倪佳苗赵青南
关键词：射频磁控溅射光电子能谱X射线衍射拉曼光谱扫描电镜
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