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于明智

作品数：28 被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
发文基金：留学人员科技活动项目择优资助经费国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 10篇自动化与计算...
  • 3篇文化科学
  • 2篇理学

主题

  • 20篇压阻
  • 18篇感器
  • 18篇传感
  • 18篇传感器
  • 15篇压阻式
  • 12篇芯片
  • 10篇电阻
  • 10篇压敏电阻
  • 10篇加速度
  • 8篇面内
  • 7篇速度传感器
  • 7篇轴向变形
  • 7篇加速度传感器
  • 7篇MEMS
  • 7篇传感器芯片
  • 6篇压阻式加速度...
  • 5篇压力传感器
  • 5篇弱化
  • 5篇谐振频率
  • 5篇力传感器

机构

  • 28篇西安交通大学
  • 1篇西北核技术研...
  • 1篇新疆交通职业...
  • 1篇学研究院

作者

  • 28篇赵立波
  • 28篇于明智
  • 27篇蒋庄德
  • 20篇杨萍
  • 19篇王久洪
  • 16篇李支康
  • 10篇赵玉龙
  • 7篇韩香广
  • 6篇蒋维乐
  • 6篇林启敬
  • 4篇卢德江
  • 4篇朱楠
  • 3篇王延斌
  • 2篇李磊
  • 2篇韩枫
  • 2篇夏勇
  • 1篇乔智霞
  • 1篇薛方正
  • 1篇王涛
  • 1篇王路

传媒

  • 1篇实验流体力学

年份

  • 2篇2023
  • 3篇2022
  • 7篇2021
  • 4篇2020
  • 8篇2019
  • 3篇2018
  • 1篇2017
共 28 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种具有纯轴向变形敏感梁的面外压阻式加速度计芯片及其制备方法
本发明公开了一种具有纯轴向变形敏感梁的面外压阻式加速度计芯片及其制备方法，该芯片包括两个对称设置的质量块，两个质量块的外端面各自和芯片外框连接，内端面通过两组敏感梁连接；四个敏感梁组成惠斯通全桥电路；质量块用于直接感测面...
赵立波马银涛于明智贾琛皇咪咪杨萍王久洪蒋庄德
一种面内双轴压阻加速度传感器芯片及其制备方法
一种面内双轴压阻加速度传感器芯片及其制备方法，芯片采用SOI硅片制成，包括芯片外框架，芯片外框架每一侧中部设有固定岛，支撑梁为“L”型结构，其较长段的一端通过固定岛固定于芯片外框架，另外较短段依次与延伸梁和质量块相连，敏...
赵立波贾琛罗国希于明智杨萍李支康王久洪蒋庄德
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一种压阻式双轴加速度传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种压阻式双轴加速度传感器芯片及其制备方法，传感器芯片包括键合的传感芯片和玻璃衬底，传感芯片包括芯片外框架、固定半岛、质量块、支撑梁、压阻微梁和铰链梁；芯片外框架的内壁分别设置有一个固定半岛，芯片外框架内部设...
赵立波贾琛罗国希于明智韩香广王路杨萍李支康高文迪陈瑶王久洪蒋庄德
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一种单光束SERF原子磁强计碱金属原子密度测量方法
本发明公开了一种单光束SERF原子磁强计及碱金属原子密度测量方法，所述方法包括以下步骤：首先，将单光束SERF原子磁强计中心位置三个方向的磁场强度补偿到零，加热碱金属气室，使碱金属原子达到SERF态；然后沿一个敏感轴方向...
赵立波马银涛陈瑶乔智霞罗国希李伟于明智王延斌林启敬杨萍王久洪蒋庄德
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一种MEMS直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法
本发明公开了一种MEMS直拉直压式两轴加速度计芯片及其制备方法，加速度计芯片采用SOI硅片制造，由四个相同的传感器子单元绕芯片中心旋转布置而成，每个子单元包括质量块、支撑梁、敏感梁、铰链梁、导线和焊盘，质量块通过支撑梁与...
赵立波于明智蒋维乐贾琛李支康王久洪赵玉龙蒋庄德
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一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法
本发明公开了一种具有纯轴向变形敏感梁的MEMS压阻式三轴冲击加速度计芯片及其制备方法，该芯片包括X、Y、Z三个测量单元组成，分别用来测量X、Y、Z三个方向的加速度；无论是哪个测量单元，支撑量与敏感梁分离，支撑梁主要作用是...
赵立波于明智马银涛贾琛皇咪咪杨萍王久洪蒋庄德
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一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法
本发明公开了一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法，子单元为一轴对称结构，第一支撑梁的一端与芯片外框连接，第一支撑梁的另一端与第一质量块一端的中部连接，第一质量块的另一端与第二质量块的一...
夏勇王延斌赵立波于明智卢德江贾琛韩香广李支康林启敬杨萍蒋庄德
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法
一种面内双轴加速度传感器芯片及其制备方法，芯片采用SOI硅片制成，包括芯片外框架，芯片外框架每一侧与两个质量块之间通过支撑梁连接，支撑梁为“T”型结构，其一端固定于芯片外框架，另外两端分别与延伸梁和质量块连接；敏感压阻微...
赵立波贾琛罗国希于明智杨萍李支康王久洪蒋庄德
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一种纯轴向变形的MEMS三轴压阻式加速度计芯片及其制备方法
本发明公开了一种纯轴向变形的MEMS三轴压阻式加速度计芯片及其制备方法，该传感器中的X测量单元、Y测量单元和Z测量单元分别用于测量X方向、Y方向和Z方向的加速度，实现三个方向加速度的分离测量；每个测量单元包括质量块、支撑...
赵立波于明智马银涛贾琛皇咪咪杨萍王久洪蒋庄德
基于静电激励压阻检测的差动式硅微谐振式压力传感器
本发明公开了基于静电激励压阻检测的差动式硅微谐振式压力传感器，包括谐振梁、耦合梁、拾振梁、固定电极、可动电极、质量块、可动锚点、固定锚点、硅岛。可动锚点与压力敏感膜通过硅岛固定连接，当压力敏感膜受到载荷变形，带动与之连接...
赵立波韩香广李雪娇王李于明智李支康朱楠杨萍闫鑫王淞立赵玉龙蒋庄德
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