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吕强

作品数:38 被引量:37H指数:3
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金:吉林省科技发展计划基金长春市科技计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学更多>>

文献类型

  • 34篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 11篇电子电信
  • 9篇机械工程
  • 5篇理学

主题

  • 32篇光栅
  • 15篇衍射
  • 15篇激光
  • 12篇双频激光
  • 11篇长行程
  • 10篇光学
  • 10篇测量系统
  • 9篇衍射光栅
  • 8篇双频激光器
  • 8篇激光器
  • 7篇光栅位移
  • 6篇读数头
  • 6篇偏振
  • 6篇位移测量系统
  • 6篇光栅衍射
  • 5篇光束
  • 5篇干涉仪
  • 4篇信号
  • 4篇信号处理
  • 4篇信号处理系统

机构

  • 38篇中国科学院长...
  • 4篇中国科学院大...
  • 1篇吉林大学

作者

  • 38篇巴音贺希格
  • 38篇吕强
  • 35篇李文昊
  • 35篇刘兆武
  • 29篇王玮
  • 29篇宋莹
  • 13篇姜珊
  • 6篇唐玉国
  • 5篇李晓天
  • 4篇于宏柱
  • 3篇谭鑫
  • 2篇齐向东
  • 2篇吉日嘎兰图
  • 1篇糜小涛
  • 1篇王玮
  • 1篇柏杨

传媒

  • 2篇中国光学
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇中国激光

年份

  • 9篇2020
  • 9篇2019
  • 15篇2018
  • 5篇2017
38 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统
本发明公开了一种基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统,包括双频激光器(1)、读数头(2)、测量光栅(3)、接收器(4)和(5)、信号处理系统(6),双频激光器(1)发出的激光入射到读数头(2)中,经过读数头(2)中的...
李文昊吕强巴音贺希格宋莹刘兆武王玮
文献传递
一种位移与角度同步测量方法
本发明公开了一种位移与角度同步测量方法,包括步骤:激光器发出正交偏振的双频激光;双频激光经由所述分束器分为第一双频激光和第二双频激光;将第一双频激光和第二双频激光经偏振分束后经过反射以利特罗角入射至所述测量光栅上,然后携...
王玮巴音贺希格吕强李文昊宋莹刘兆武姜珊
文献传递
一种光束姿态调整系统
本发明公开一种光束姿态调整系统,光束姿态调整系统包括光束宏动调整模块及光束微动调整模块,激光束首先进入所述光束微动调整模块进行微动姿态稳定,由所述光束微动调整模块调整后的出射光束再通过一分束光栅,所述分束光栅分束后的光束...
巴音贺希格王玮宋莹姜珊吕强李文昊刘兆武
文献传递
用于扫描干涉场曝光系统的精密光栅位移测量系统及方法
本发明公开了一种用于扫描干涉场曝光系统的精密光栅位移测量系统,在扫描干涉场曝光系统的正面及背面分别引入长行程、高精度衍射光栅位移测量系统,所述光栅位移测量系统均包括:双频激光器、光阑、读数头,所述双频激光器、光阑、读数头...
宋莹吕强李文昊刘兆武王玮巴音贺希格
基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法
本发明公开了一种基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法,双频激光器发出的激光入射到读数头中,经过读数头中的光学元件,入射激光会形成两组测量光束,每组测量光束以满足光栅方程的利特罗角入射到测量光栅上,测量光栅由多块光栅沿...
李文昊吕强巴音贺希格宋莹刘兆武王玮
一种位移测量光学系统
本发明公开了一种位移测量光学系统,该光学系统包括:光源,偏振分光棱镜,直角反射棱镜,第一菲涅尔棱体,第二菲涅尔棱体,参考反射镜,测量反射镜组和光电探测器;所述直角反射棱镜设置在偏振分光棱镜的反射光路上;所述第一菲涅尔棱体...
巴音贺希格刘兆武李文昊李晓天宋莹姜珊王玮李烁吕强
文献传递
长行程、高精度测量的光栅位移测量系统
本发明公开了一种长行程、高精度测量的光栅位移测量系统,包括:三个高刻线密度光栅,所述三个高刻线密度光栅呈“品”字形布设形成测量光栅,位于上侧的所述高刻线密度光栅的左端承载于位于左侧的所述高刻线密度光栅的右端,右端承载于位...
李文昊吕强巴音贺希格宋莹刘兆武王玮
一种品字型位移测量光栅的制作方法
本发明提供的一种品字型位移测量光栅的制作方法,包括:获取至少两个主测量光栅及一块副测量光栅,两个主测量光栅沿光栅矢量方向首尾拼接,副测量光栅固定在两个主测量光栅的接缝处,主测量光栅及所述副测量光栅共面且呈品字型分布,将所...
于宏柱吕强李文昊吉日嘎兰图刘兆武巴音贺希格唐玉国齐向东
文献传递
一种位移与角度同步测量系统
本发明公开了一种位移与角度同步测量系统,包括:激光器、分束器、读数头、测量光栅、接收器以及信号处理系统;读数头将第一双频激光和第二双频激光经偏振分束后经过反射以利特罗角入射至所述测量光栅上,然后携带相位信息的衍射光按原路...
王玮巴音贺希格吕强李文昊宋莹刘兆武姜珊
文献传递
长行程、高精度测量的光栅位移测量方法
本发明公开了一种长行程、高精度测量的光栅位移测量方法,包括如下步骤:双频激光器发出正交偏振的双频激光被分束棱镜和90°折转镜分为两束光,并分别入射到两偏振分光棱镜被两偏振分光棱镜分束为P光及S光;所述P光及S光经过四个四...
李文昊吕强巴音贺希格宋莹刘兆武王玮
文献传递
共4页<1234>
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