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夏祥华

作品数：1 被引量：13H指数：1
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇溅射
  • 1篇NI
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇于子龙
  • 1篇夏祥华

传媒

  • 1篇绝缘材料

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控溅射镍膜及其性能的研究被引量：13
2008年
采用磁控溅射法在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基材上制备了镍薄膜。用扫描电子显微镜(SEM)分析溅射功率、溅射真空室气压等工艺参数对镍薄膜表面形貌的影响;研究了溅射工艺参数与薄膜性能之间的关系。实验结果表明,在室温下,随着溅射气压的增加,沉积速率和粒径都是先增加后又逐渐变小,而薄膜的电阻则随着压强的增大先减小后逐步增大;薄膜的表面粗糙度随着溅射功率的增加而增大;膜层与基材的剥离强度较大且均匀,膜层结合较为牢固,薄膜的耐摩擦性能较为优良。
余凤斌夏祥华于子龙耿秋菊
关键词：磁控溅射NI
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共1页<1>
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