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张润

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第二研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇湿法
  • 1篇流量计
  • 1篇计量泵

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇张峰
  • 1篇王玉
  • 1篇张润

传媒

  • 1篇山西电子技术

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于湿法清洗设备自动供液系统的研究被引量：2
2016年
湿法清洗设备是半导体清洗行业中最普遍的设备,其电气控制方式受环境因素影响有其特殊性和专业性,清洗设备中的电气控制需要配合其清洗的特殊工艺而实现。同时清洗工艺过程具有强腐蚀性,也应该考虑电气设备的安全耐腐蚀防护。
张润张峰王玉郭帝江
关键词：计量泵流量计
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