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潘元志
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
中央研究院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
詹昌华
上海交通大学微纳科学技术研究院
赵小林
上海交通大学微纳科学技术研究院
侯中宇
中央研究院
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侯中宇
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潘元志
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2013
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一种新型的电离式MEMS气体传感器
被引量:1
2013年
实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器,即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分,这样可以避免高电压对器件的影响,提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验,测出了不同的伏安特性曲线和电导率值,从而证实了该器件的气体传感特性。
詹昌华
潘元志
赵小林
侯中宇
关键词:
微机电系统
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