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祝宁

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：上海应用技术学院理学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇光刻
  • 1篇光刻技术
  • 1篇X射线光刻
  • 1篇X射线光刻技...

机构

  • 1篇上海应用技术...

作者

  • 1篇李以贵
  • 1篇黄远
  • 1篇颜平
  • 1篇祝宁

传媒

  • 1篇上海应用技术...

年份

  • 1篇2015
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备技术
2015年
介绍了2种基于特殊X射线光刻技术的空心微针制备方法.一种为基于2次不同X射线光刻技术的制备方法,即第1次为通常意义的带掩膜板光刻,第2次为无掩膜板光刻;另一种为基于2次移动掩膜板光刻加1次通常意义的带掩膜板光刻技术的制备空心微针方法.结果表明:在面积为5mm×5mm的聚合物基板上制备了25根空心微针阵列.
李以贵颜平黄远祝宁
关键词：X射线光刻
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