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董汉鹏

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院研究生院更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化铪
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇射频磁控溅射...
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘薄膜
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇溅射制备
  • 1篇表面形貌
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇磁控溅射法
  • 1篇磁控溅射制备

机构

  • 1篇中国科学院电...
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 1篇夏善红
  • 1篇刘西锋
  • 1篇董汉鹏

传媒

  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控溅射制备氧化铪薄膜的高温绝缘性
采用射频磁控溅射法在不同氧氩比的条件下制备了氧化铪绝缘薄膜,分别采用X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)对氧化铪薄膜的结构和表面形貌进行了表征;分析了不同氧氩比对薄膜结构和表面形貌的影响;针对氧化铪在高温下的应用重点...
刘西锋董汉鹏夏善红
关键词：射频磁控溅射法表面形貌
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