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赵银女

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：烟台师范学院物理与电子工程学院物理系更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇微机械
  • 1篇变形镜

机构

  • 1篇烟台师范学院

作者

  • 1篇赵银女
  • 1篇于芬

传媒

  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
新型微机械变形反射镜研究
2006年
提出一种新型的静电驱动微机械变形反射镜,研究了静电力驱动的静态模型和动态模型。结果表明,驱动器的变形位移随驱动电压的增加出现稳定的非线性增加和不稳定的“拉入”现象;当变形镜由余弦电压驱动时,平衡位移的响应为2倍频的余弦信号;变形镜驱动电压撤除后驱动器上电极薄板经过17μs回复到驱动前的未变形状态。所得结果对于设计微机械变形镜具有重要意义。
闫金良赵银女于芬
关键词：变形镜微电子机械系统
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共1页<1>
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