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周冠宇

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇预处理
  • 2篇退火
  • 2篇退火处理
  • 2篇抛光
  • 2篇高温
  • 2篇高温炉
  • 2篇衬底

机构

  • 2篇清华大学

作者

  • 2篇薛其坤
  • 2篇王立莉
  • 2篇马旭村
  • 2篇周冠宇

年份

  • 1篇2018
  • 1篇2016
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
具有原子级平整表面的衬底的制备方法
本发明涉及一种具有原子级平整表面的衬底的制备方法，该方法包括以下步骤：提供相同材料的至少两个预处理衬底，每个所述预处理衬底具有至少一抛光面；将所述至少两个预处理衬底层叠设置形成一层叠结构体，其中，相邻的两个所述预处理衬底...
周冠宇王立莉马旭村薛其坤
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具有原子级平整表面的衬底的制备方法
本发明涉及一种具有原子级平整表面的衬底的制备方法，该方法包括以下步骤：提供相同材料的至少两个预处理衬底，每个所述预处理衬底具有至少一抛光面；将所述至少两个预处理衬底层叠设置形成一层叠结构体，其中，相邻的两个所述预处理衬底...
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