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孔今沂
作品数:
2
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供职机构:
山东大学物理学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
电子电信
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合作作者
张凯
山东大学物理学院
杨帆
山东大学物理学院
马瑾
山东大学物理学院
冯先进
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孔今沂
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2篇
2007
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MOCVD方法制备In2O3薄膜的性质研究
用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法以三甲基铟为源材料,以 O为氧化气体,在蓝宝石衬底(0001) 面上生长出了高质量的立方相 InO薄膜。研究了 InO 薄膜的结构、表面形貌和光电性质。结果表明制备样品具有 InO...
杨帆
马瑾
冯先进
孔今沂
张凯
关键词:
MOCVD
光电性质
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MOCVD方法制备In2O3薄膜的性质研究
2007年
用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法以三甲基铟为源材料,以O2为氧化气体,在蓝宝石衬底(0001)面上生长出了高质量的立方相In2O3薄膜。研究了In2O3薄膜的结构、表面形貌和光电性质。结果表明制备样品具有In2O3体心立方结构和(222)方向择优取向生长,电阻率~6.40×10^-3Ω·cm,在可见光区域的平均透过率达到了90%以上。
杨帆
马瑾
冯先进
孔今沂
张凯
关键词:
MOCVD
光电性质
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