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张水
作品数:
2
被引量:9
H指数:1
供职机构:
郑州大学
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发文基金:
河南省科技攻关计划
国家自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
宋开兰
郑州大学物理工程学院材料物理教...
史新伟
郑州大学物理工程学院材料物理教...
安子凤
郑州大学物理工程学院材料物理教...
姚宁
郑州大学物理工程学院材料物理教...
王新昌
郑州大学物理工程学院材料物理教...
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1篇
化学气相沉积
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光学性质
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刚石
机构
2篇
郑州大学
作者
2篇
史新伟
2篇
张水
2篇
宋开兰
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王新昌
1篇
姚宁
1篇
安子凤
1篇
王晓
传媒
2篇
真空
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1篇
2012
1篇
2011
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甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响
被引量:8
2011年
纳米金刚石薄膜具有优异的性能,已在多个领域获得广泛应用。但微波等离子体化学气相沉积制备的金刚石薄膜质量却严重受沉积工艺的影响,为了深入了解沉积工艺对制备的金刚石薄膜质量的影响,本文详细研究了甲烷浓度对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石薄膜质量的影响,利用扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱以及原子力显微镜对其进行结构表征,分析了甲烷浓度对所制备的金刚石薄膜质量的影响规律。
史新伟
安子凤
张水
宋开兰
姚宁
王新昌
关键词:
金刚石薄膜
化学气相沉积
氮化钛薄膜光学性质的研究进展
被引量:1
2012年
介绍了拟合氮化钛薄膜光学常数常用的色散模型,且结合第一性原理计算出的能带结构和态密度给予阐述;概括了氮化钛在表面等离子体共振方面的研究进展和掺杂对于氮化钛薄膜光学性能的影响;并且指出了氮化钛在节能镀膜玻璃方面的应用。
张水
史新伟
宋开兰
王晓
关键词:
氮化钛
光学性质
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