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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化钛
  • 1篇氮化钛薄膜
  • 1篇气相沉积
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇光学
  • 1篇光学性
  • 1篇光学性质
  • 1篇刚石

机构

  • 2篇郑州大学

作者

  • 2篇史新伟
  • 2篇张水
  • 2篇宋开兰
  • 1篇王新昌
  • 1篇姚宁
  • 1篇安子凤
  • 1篇王晓

传媒

  • 2篇真空

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
甲烷浓度对金刚石薄膜质量的影响被引量:8
2011年
纳米金刚石薄膜具有优异的性能,已在多个领域获得广泛应用。但微波等离子体化学气相沉积制备的金刚石薄膜质量却严重受沉积工艺的影响,为了深入了解沉积工艺对制备的金刚石薄膜质量的影响,本文详细研究了甲烷浓度对微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)金刚石薄膜质量的影响,利用扫描电镜、X射线衍射、拉曼光谱以及原子力显微镜对其进行结构表征,分析了甲烷浓度对所制备的金刚石薄膜质量的影响规律。
史新伟安子凤张水宋开兰姚宁王新昌
关键词:金刚石薄膜化学气相沉积
氮化钛薄膜光学性质的研究进展被引量:1
2012年
介绍了拟合氮化钛薄膜光学常数常用的色散模型,且结合第一性原理计算出的能带结构和态密度给予阐述;概括了氮化钛在表面等离子体共振方面的研究进展和掺杂对于氮化钛薄膜光学性能的影响;并且指出了氮化钛在节能镀膜玻璃方面的应用。
张水史新伟宋开兰王晓
关键词:氮化钛光学性质
共1页<1>
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