徐照方
- 作品数：1 被引量：9H指数：1
- 供职机构：中南大学物理与电子学院更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- DLC/Ag/DLC复合多层薄膜光学性能被引量：9
- 2008年
- 采用等离子体增强化学气相沉积类金刚石(DLC)薄膜、高真空磁控溅射镀膜设备溅射Ag靶的方法制备了不同厚度Ag、DLC层的DLC/Ag/DLC多层膜,分别用紫外可见分光光度计、四探针测试仪对样品的光学性能、电学性能进行了测试。结果表明,随着Ag层厚度的增加,DLC/Ag/DLC多层膜透射率先增后减,外层DLC薄膜和内层DLC薄膜对透射率影响基本一致,随着厚度增加透射率先增后减,在内外层厚度为40 nm,Ag夹层厚度为16 nm时,DLC(30 nm)/Ag(16 nm)/DLC(40 nm)膜在550 nm处的透射率高达94.4%,电气指数高达112.4×10-3Ω-1,远远超过现有透明导电膜的电气指数(FTC≈20×10-3Ω-1)。
- 张德恒徐照方李伯勋
- 关键词：薄膜光学光学性能多层膜磁控溅射
