李明
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 供职机构：上海大学理学院物理系更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 等离子体综合实验仪被引量：1
- 2009年
- 介绍了自行研制的等离子体实验仪,用双探针法测量了电子密度随放电电压的变化关系.采用光谱辅助诊断技术对等离子体原子激发温度沿轴向位置的变化进行比较测量.
- 李明王叶耿在斌
- 关键词：等离子体光谱分析
- 低气压放电管等离子体综合诊断系统及对比实验
- 介绍一种自行研制的低气压放电管(氩、汞混合气体)等离子体综合诊断系统,体管点亮、工作过程等多点控制与检测电路全部采用模块化与程控结构,可实现:1)单、双Langmuir探针法;2)霍尔效应法;3)定位光谱法及位置扫描光谱...
- 耿在斌李明王叶
- 一种全自动超高真空电子束蒸发薄膜生长系统被引量：3
- 2009年
- 由于薄膜生长均匀、沉积速率和膜厚易控、可制备大面积薄膜等特点,电子束沉积技术在超导薄膜、多层巨磁阻薄膜、超晶格薄膜中得到了深入研究。电子束沉积技术的关键是其薄膜生长和控制系统。本文基于微型计算机DA和IEEE488接口技术,报道了一种全自动超高真空电子束蒸发薄膜生长系统,自动化程度高,使用方便,名义薄膜厚度测量分辨率可达0.1A。精度,可实现双源共蒸发功能和程序预设定的多源多层薄膜自动沉积。
- 张义邴柯一青周迪帆顾锦模李明朱红妹钟敏建
- 关键词：电子束蒸发超高真空计算机接口自动控制
- 低气压放电管等离子体综合诊断系统及对比实验
- <正>介绍一种自行研制的低气压放电管(氩、汞混合气体)等离子体综合诊断系统,体管点亮、工作过程等多点控制与检测电路全部采用模块化与程控结构,可实现:1)单、双Langmuir探针法;2)霍尔效应法;3)定位光谱法及位置扫...
- 耿在斌李明王叶
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