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韩啸
作品数:
1
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供职机构:
长春理工大学机电工程学院
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相关领域:
机械工程
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合作作者
刘涛
长春理工大学机电工程学院
张心明
长春理工大学机电工程学院
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用于拼接干涉仪的五维运动台测试
2015年
高运动精度、高稳定性的多维运动台是拼接干涉仪必不可少的组成部分,因此运动台精度和稳定性直接影响拼接干涉仪的测量精度。通过激光干涉测量系统测量了五维运动台的行程、分辨率。运用频谱实验测量了五维运动台的模态。利用面形测量干涉仪,通过干涉条纹移动测试了五维运动台长时间工作中的漂移,为拼接干涉仪的研制提供了重要依据。
韩啸
张心明
刘涛
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模态
漂移
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