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黎晓辉
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中南大学材料科学与工程学院
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相关领域:
化学工程
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合作作者
张伟
中南大学材料科学与工程学院
欧定斌
中南大学材料科学与工程学院
何捍卫
中南大学
甘卫平
中南大学材料科学与工程学院
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2006
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电流密度对电沉积制备钽基RuO_2·nH_2O薄膜形貌的影响
被引量:5
2006年
采用直流电沉积的方法研究了阴极电流密度的变化(1mA/cm2、3mA/cm2、5mA/cm2、10mA/cm2)对RuO2·nH2O薄膜附着力和形貌的影响,并探讨了RuO2·nH2O电沉积的机理。采用SEM、能谱仪、XRD对薄膜的形貌、元素、物相分别进行了分析,并用粒度分析仪(DELSA440SXAnalyzerControl)对电沉积液的Zeta电位进行了测试。通过实验可以得出:RuO2·nH2O薄膜厚度随着阴极电流密度的增加而增加,薄膜自然干燥失水后,开裂脱落的倾向随电流密度的增加而增大;当阴极电流密度达到10mA/cm2时,自然干燥后薄膜疏松,附着力差。
欧定斌
甘卫平
何捍卫
张伟
黎晓辉
关键词:
电沉积
形貌
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