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龚倩

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：广东工业大学机电工程学院更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇重入
  • 1篇晶圆
  • 1篇晶圆制造
  • 1篇仿真
  • 1篇EM-PLA...

机构

  • 1篇广东工业大学

作者

  • 1篇伍乃骐
  • 1篇白丽平
  • 1篇龚倩

传媒

  • 1篇机电工程技术

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于eM-Plant的晶圆重入加工自动组合装置仿真
2012年
原子层沉积加工是晶圆制造中典型的重入加工,在这个过程中,晶圆需要在同一个模块中被加工多次,这使得整个系统的调度变得很复杂。为此,基于eM-Plant系统仿真软件,建立了晶圆制造单臂自动组合设备的模型,通过该模型模拟了晶圆重入加工调度过程,最终获得系统加工的节拍,为以后研究晶圆重入加工提供了一个有效方法。
龚倩白丽平伍乃骐
关键词：晶圆制造EM-PLANT仿真
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共1页<1>
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