张大虎
- 作品数：2 被引量：7H指数：1
- 供职机构：成都理工大学材料与化学化工学院更多>>
- 发文基金：公益性行业科研专项国家自然科学基金四川省教育厅资助科研项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术天文地球更多>>
- 用于高纯石英加工的脉石英气液包裹体杂质特征初步研究
- 脉石英是由热液或变质作用形成、呈脉状产出、几乎由石英单矿物组成的岩石。我国脉石英的矿物资源丰富,分布比较广泛。尽管其矿床规模一般不大,但由于SiO含量一般在99%以上,是加工高纯石英的良好原料。石英矿物中普遍存有包裹体,...
- 田青越魏玉燕张大虎潘俊良汤中防汪灵
- 文献传递
- 单晶硅生长用石英坩埚的组成与结构特征被引量：7
- 2016年
- 为了解国产单晶硅生长用石英坩埚的技术现状,为石英坩埚的研究与应用提供科学依据,采用多种现代检测方法,对四川某企业生产的石英坩埚及其高纯石英原料的化学成分、物相和结构特征进行测试分析,结果表明:单晶硅生长用石英坩埚是一种以高纯石英为原料加工制备的石英玻璃功能材料;石英坩埚的透明情况和分层结构均由内部的气泡引起,透明层中气泡较少,直径?=10μm^100μm,不透明层中复合气泡密集且明显大于透明层,直径?=50μm^300μm。该企业所生产的石英坩埚出现双层、透明单层、不透明单层等3种不同横断面结构,但它们的微量杂质元素含量相似(总量为101×10^(-6)~188×10^(-6))、物相相同(非晶态的石英玻璃),其质量还未达到国家质量标准,一个重要原因是所用的高纯石英原料13种微量杂质元素总量为55×10^(-6),属4N中端产品,与美国尤尼明4N8标准级高端产品还存在很大差距。
- 张大虎田青越汪灵罗大伟潘俊良
- 关键词：石英石英玻璃单晶硅
