斯琴 作品数:3 被引量:8 H指数:2 供职机构: 河南理工大学电气工程与自动化学院 更多>> 发文基金: 中国博士后科学基金 国家自然科学基金 河南省教育科学“十一五”规划课题 更多>> 相关领域: 电子电信 机械工程 更多>>
集成光学非球面消球差双凸波导透镜的研制 被引量:2 2008年 针对微透镜制作采用的球透镜研磨,多组分玻璃基板离子交换,结晶化玻璃基板光热法,本文提出非球面消球差双凸波导透镜设计、制备及参数测试方法。该方法根据集成光学原理,研制了一种非球面消球差双凸波导透镜。该透镜数值孔径大,放大倍数高,接近衍射极限,采用光刻、复制工艺,结构简单,一致性好。实验结果表明,NA=0.35,β=6.932,光强分布与理论值一致,达到设计要求。 恩德 徐可欣 陈才和 崔宇明 斯琴 王金武 赵亚兵关键词:集成光学 钛扩散铌酸锂 质子交换 衍射极限 高精度硅微简谐振子的设计与制作工艺 被引量:6 2007年 介绍了MOEMS加速度地震检波器中敏感元件——简谐振子的工作和设计原理,并详细讨论了影响简谐振子腐蚀质量的因素.在实验中采用硅各向异性腐蚀法,制作出了高精度的硅微简谐振子.改进浓度配比的腐蚀液,在80℃时,腐蚀速率控制在(0.53±0.2)μm.测试结果表明:SiO2控制精度达到0.1μm,可应用于光电集成加速度地震检波器的集成光学器件中. 恩德 魏建霞 徐可欣 童峥嵘 陈才和 崔宇明 斯琴 李超关键词:微光机电系统 简谐振子 优化设计 混合集成加速度传感器信号处理及滤波器的设计 2009年 本文提出了一种基于DSP(digital signal processor)的混合集成光学加速度传感器信号处理和滤波器的设计方法,对其工作原理及采样特性进行了的分析和讨论。完成了信号处理电路的硬件和软件设计,并对其滤波器性能进行了测试。测试结果表明此系统也可以实时、可靠地完成对加速度信号的滤波,达到了实用的要求.。 恩德 赵亚兵 王金武 斯琴关键词:DSP 滤波器 加速度