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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇氧化物
  • 1篇氧化铟
  • 1篇金属
  • 1篇金属氧化物
  • 1篇晶体管
  • 1篇薄膜晶体
  • 1篇薄膜晶体管
  • 1篇
  • 1篇
  • 1篇IGZO

机构

  • 1篇泰山学院
  • 1篇京东方科技集...

作者

  • 1篇肖静
  • 1篇薛建设
  • 1篇刘翔
  • 1篇贾勇
  • 1篇曹占峰
  • 1篇周伟峰

传媒

  • 1篇现代显示

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
金属氧化物IGZO薄膜晶体管的最新研究进展被引量:14
2010年
最近几年,金属氧化物IGZO薄膜晶体管成为研究热点,具有高迁移率、稳定性好、制作工艺简单等优点,备受人们关注。文章综述了制作金属氧化物IGZO晶体管的结构及其优缺点,总结了影响金属氧化物IGZO薄膜晶体管性能的因素,并提出了制作高性能金属氧化物IGZO薄膜晶体管的方法。
刘翔薛建设贾勇周伟峰肖静曹占峰
关键词:薄膜晶体管氧化物
共1页<1>
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