李小强
- 作品数：4 被引量：0H指数：0
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- 相关领域：电子电信更多>>
- 毛细管放电类氖氩69.8nm激光增益特性研究
- 2017年
- 建立了计算69.8nm激光增益系数的理论模型,根据实验参数,计算了在主脉冲电流为12 kA时,69.8nm激光增益系数最大值为0.32 cm^(-1).理论模拟了不同初始气压下增益系数在毛细管径向上的分布情况.对理论结果的分析表明,最佳的初始气压在12—14 Pa范围内,此时69.8nm激光增益系数的极值最大.实验上,利用毛细管放电装置和罗兰光谱仪,测量了不同气压下的69.8nm激光强度,实验确定的最佳气压为16 Pa,与理论结果相近.此外,实验测量的增益系数(0.4 cm^(-1))略高于理论计算的增益系数(0.32 cm^(-1)).
- 刘涛赵永蓬丁宇洁李小强崔怀愈姜杉
- 关键词：毛细管放电速率方程增益系数
- 纳秒激光产生Sn等离子体状态实验研究
- <正>光刻技术制约着集成电路制造业的发展,是现代信息技术中的最关键技术。极紫外光刻技术被认为是最有前途的下一代光刻技术候选人,它采用波长为13.5nm的极紫外光(EUV)作为曝光光源,可以将集成电路的特征尺寸实现到22n...
- 李小强
- 关键词：发射光谱法电子温度电子密度
- 文献传递
- 毛细管内径对Xe气放电极紫外光源的影响
- 2014年
- 极紫外光源功率是影响光源使用的关键参数,研究放电等离子体EUV光源等离子体时间特性,优化放电结构和光源功率具有重要意义。理论上计算了不同内径毛细管内等离子体压缩过程和收集效率,实验上采用极紫外探测器测量了毛细管内径对Xe气极紫外光源13.5nm(2%带宽)辐射输出时间特性的影响,分析了毛细管内径对等离子状态的影响。结合该系统光学收集系统设计参数、不同内径毛细管收集效率和极紫外探测器信号强度,给出了不同内径毛细管中间焦点处13.5nm(2%带宽)光功率比。结果表明:气压7Pa、电流28kA时,毛细管内径7mm条件下,光源中间焦点处光功率最优化。
- 徐强赵永蓬李小强李琦王骐
- 关键词：毛细管放电Z箍缩
- 纳秒激光产生Sn等离子体状态实验研究
- 李小强
- 关键词：发射光谱法电子温度电子密度
