2024年12月19日
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陈权
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
上海交通大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
姜岩
上海交通大学
陆晴
上海交通大学
刘兴钊
上海交通大学
段力
上海交通大学
袁健华
上海交通大学
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作者
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陈权
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刘兴钊
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陆晴
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姜岩
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陈国忠
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袁健华
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段力
传媒
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中国集成电路
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2024
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单分量立方相位信号的参数估计方法及系统
本发明提供了一种单分量立方相位信号的参数估计方法及系统,包括:获得单分量立方相位信号数据;将该信号变换到慢时间域‑延迟时间域内;沿着延迟时间维进行广义傅里叶变换将信号变换到慢时间域‑广义延迟时间频率域内;将信号乘以自身共...
王健楠
马菁涛
黄鹏辉
姜岩
陈权
范季夏
占木杨
陆晴
席沛丽
万向成
刘兴钊
亚分辨率辅助图形对28纳米密集线条光刻成像的影响
被引量:1
2016年
亚分辨率辅助图形(Sub-Resolution-Assist-Feature,SRAF)是光刻工艺图形增强技术(Resolution Enhancement Technology,RET)中广泛应用的一种方法。本文设计实验在密集图形(线宽/距离比约1:1)外侧放置不同的SRAF,研究了SRAF对于密集图形内部线条成像的影响,通过实验数据总结和理论分析,提出了最佳的SRAF放置位置。此外,本文还设计了一种与设计图形线宽一样大小的SRAF,并比较了其与传统尺寸SRAF对密集图形内侧线条成像的影响。
陈权
段力
毛智彪
关键词:
OPC
分辨率
基于调频连续波体制的车载合成孔径雷达成像方法及系统
本发明提供了一种基于调频连续波体制的车载合成孔径雷达成像方法和系统,包括:步骤S1:获取原始雷达回波数据,进行去调频处理,得到去调频后的信号;步骤S2:补偿参考信号相位偏移,并将去调频后的信号变换到多普勒域;步骤S3:补...
凌青
马菁涛
黄鹏辉
原浩娟
占木杨
陈权
席沛丽
陆晴
姜岩
万向成
刘艳阳
陈筠力
陈国忠
刘兴钊
张丙良
袁健华
28纳米集成电路工艺金属层OPC模型的开发
集成电路制造工艺的关键尺寸随着“摩尔定律”一步步的缩小到了28纳米。这一制程节点是应用双重曝光之前的最后一个世代,所以对光刻与 OPC(Optical Proximity Correction,光学邻近效应修正)精确度的...
陈权
关键词:
纳米集成电路
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