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刘利华

作品数：1 被引量：12H指数：1
供职机构：中材高新材料股份有限公司更多>>
发文基金：国家科技支撑计划更多>>
相关领域：冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇冶金工程

主题

  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇涂层
  • 1篇微粉
  • 1篇高纯
  • 1篇SI3N4

机构

  • 1篇武汉理工大学
  • 1篇中材高新材料...

作者

  • 1篇袁向东
  • 1篇张联盟
  • 1篇李俊国
  • 1篇刘利华

传媒

  • 1篇硅酸盐通报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多晶硅铸锭涂层用高纯Si3N4微粉的研究进展与展望被引量：12
2009年
本文根据国内外高纯氮化硅微粉制备的研究情况,综述了硅粉直接氮化法、硅亚胺热分解法、气相反应法等几种氮化硅粉末的主要制备方法,介绍了各种制备方法在生产多晶硅铸锭涂层用氮化硅微粉的优缺点,并从产品质量、成本等角度分析比较了各种制备方法的特点,指出了制备多晶硅铸锭用氮化硅粉末的主要发展方向。
袁向东刘利华李俊国张联盟
关键词：多晶硅氮化硅微粉涂层
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共1页<1>
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