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尚志伟

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇底面对准
  • 1篇图像
  • 1篇图像处理
  • 1篇边缘检测

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇李久芳
  • 1篇尚志伟

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
图像处理在双面光刻机中的应用被引量：1
2006年
讨论了双面对准光刻机的底部对准原理,并着重介绍了图像处理在高精度光刻机中的应用。通过对采集到的标记图形进行图像分割和边缘定位,使标记的边缘精确定位在亚像素级。从实验的结果来看,这种方法能够对对准标记达到很好的边缘定位,提高了对准精度。
李久芳尚志伟
关键词：底面对准图像处理边缘检测
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