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张彤
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
供职机构:
沈阳仪器仪表工艺研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
林洪
沈阳仪器仪表工艺研究所
郝永德
沈阳仪器仪表工艺研究所
孙良彦
沈阳仪器仪表工艺研究所
陈卢金
沈阳仪器仪表工艺研究所
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一体化厚膜高分子温湿度传感器的特性分析
厚膜工艺将厚膜NTC热敏电阻和高分子湿敏电阻制作在同一基片上构成一体温湿度传感器,它具有体积小、响应速度快、测试精度高和易于集成化等特点。该文介绍了该传感器的设计原理、制作工艺、温湿度特性及影响因素,讨论了根据湿度传感器...
林洪
郝永德
陈卢金
张彤
孙良彦
关键词:
温湿度传感器
一体化厚膜高分子温湿度传感器的研制
被引量:1
1998年
一体化温湿度传感器是采用厚膜工艺将温度传感器和湿度传感器制作在同一Al2O3陶瓷基片上而形成一个集成一体化的多功能传感器。湿度传感器采用性能优良的高分子聚合物湿敏电阻,温度传感器采用具有NTC特性的MnCoNi系氧化物厚膜热敏电阻。它不仅可以将温度和湿度这两个参数同时进行测量,而且给湿度传感器的温度补偿带来了极大的方便。
林洪
郝永德
陈卢金
孙良彦
张彤
陈丽华
关键词:
传感器
厚膜
温度传感器
湿度传感器
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