张承亮
- 作品数：7 被引量：4H指数：1
- 供职机构：北京航天控制仪器研究所更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术交通运输工程更多>>
- 一种“三明治”加速度传感器研究
- "三明治"式微加速度传感器作为一种中高精度惯性器件,将会在军民两用市场有广阔的应用前景,针对其工艺加工特殊、加工难度大的特点,本文提出了一整套专门工艺,包括Si的KOH腐蚀工艺,金属溅射掩膜与玻璃浅槽、玻璃通孔相结合工艺...
- 刘国文薛旭张承亮万蔡辛刘雪松李丹东
- 关键词：MEMS惯性器件微加速度计阳极键合
- 文献传递
- MEMS惯性测量单元减振系统仿真分析被引量：1
- 2016年
- MEMS惯性测量单元使用MEMS仪表作为角速度和加速度传感器,该传感器对振动和冲击敏感,会引起惯性测量单元的测量误差。MEMS惯性测量单元多用于飞机、炸弹、导弹等振动环境恶劣的地方,因此减振器的设计尤为重要。减振器设计首先要明确惯性测量单元所处的振动环境,其次要明确MEMS惯性测量单元敏感的频点,最后明确惯性测量单元的质量、安装形式。设计了一种用于MEMS惯性测量单元的减振器,减振效率达75%,对振动和冲击均起到衰减的作用,衰减频带展宽,且在峰值的放大倍数低于3.5。
- 孙丽艳张帅杨亮张承亮
- 关键词：振动减振器
- 硅微谐振式加速度计技术现状及展望被引量：3
- 2010年
- 硅微谐振式微加速度计是各种MEMS加速度计中被普遍看好并期待为将来的高精度微加速度计发展的一个重要方向,正在全世界范围内被广泛研究。本文对硅微谐振式微加速度计的发展现状进行了评述。根据国内外不同的技术实现,诸如工作原理、微加工工艺实现、应用范围等对其进行了分类阐述。最后,对硅微谐振式加速度计研究中一些关键技术进行了讨论,并提出了展望。
- 万蔡辛李丹东张承亮陈效真
- 关键词：微机械惯性传感器加速度计谐振
- 电容式微加速度计的整流误差与减震浅析
- 为根据微加速度计的整流误差明确其应用场合中的带宽限制和减震要求,结合微加速度计的工作机理和实际工作条件,在前人理论基础和前人工作基础上,着重分析比较了开环和闭环电容式微加速度计的整流误差机理、半定量估计与工作要求。以三只...
- 万蔡辛李丹东张承亮冯强郑旭东
- 关键词：微机电系统微加速度计振动
- 文献传递
- 一种基于MEMS/GPS组合系统的信息条件匹配滤波估计方法
- 本发明公开了一种基于MEMS/GPS组合系统的信息条件匹配滤波估计方法，该方法基于MEMS惯性仪表和GPS信号接收等信息建立组合导航物理模型，对系统的传感器输入信息进行实时分析，设计了信息组合判据，对输入信息进行条件筛选...
- 周艳丽郭涛杨亮王盛张承亮赵龙罗强力车鹏宇
- 文献传递
- 一种基于MEMS/GPS组合系统的信息条件匹配滤波估计方法
- 本发明公开了一种基于MEMS/GPS组合系统的信息条件匹配滤波估计方法，该方法基于MEMS惯性仪表和GPS信号接收等信息建立组合导航物理模型，对系统的传感器输入信息进行实时分析，设计了信息组合判据，对输入信息进行条件筛选...
- 周艳丽郭涛杨亮王盛张承亮赵龙罗强力车鹏宇
- 文献传递
- MEMS加速度计工程样机的研制
- 结合国内现有的工艺水平,研制了Z轴"三明治"式MEMS加速度计。在结构设计上采用基于平动机理的集中参数模型;综合考虑静电负刚度效应等因素,给出了该MEMS加速度计系统级设计方案;在整表的组装工艺上,采用了基于薄膜电路的M...
- 薛旭李丹东刘国文万蔡辛张承亮
- 关键词：微机械加速度计负刚度稳定性
- 文献传递
