江平
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
- 供职机构：国防科学技术大学机电工程与自动化学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技大学优秀研究生创新基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
- 微陀螺静电力调频的快速收敛算法研究被引量：1
- 2008年
- 针对电容式微陀螺谐振结构,研究了静电力对谐振频率的影响规律,提出了一种快速收敛的静电力调频算法,建立了微陀螺调频实验系统,该系统采用扫频方法测量谐振频率,利用计算机控制调频收敛过程,并对微陀螺进行了调频实验,调频过程用时少于5分钟,实验结果表明该调频算法具有较快的收敛速度。
- 肖定邦徐平侯占强江平吴学忠李圣怡
- 关键词：微陀螺静电力调频
- Pyrex玻璃的ICP刻蚀技术研究被引量：4
- 2008年
- 以SF6/Ar为刻蚀气体,采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀Pyrex玻璃,研究气体流量、射频功率对刻蚀速率及刻蚀面粗糙度的影响。采用正交实验方法找出优化的实验参数,得到Pyrex玻璃刻蚀速率为106.8nm/min,表面粗糙度为Ra=5.483nm,实验发现增加自偏压是提高刻蚀速率、减小刻蚀面粗糙度的有效方法。
- 江平侯占强彭智丹肖定邦吴学忠
- 关键词：ICP刻蚀MEMS
- 电容式MEMS器件模态频率的电学测试方法研究被引量：7
- 2008年
- 针对电容式MEMS器件,提出了一种基于调制解调原理的模态频率测试方法,详细介绍了该测试方法的测试原理和测试系统的组成。利用Ansys对某插齿式微加速度计进行了模态仿真分析,分析得到的模态频率为3 941 Hz,利用该测试方法对该微加速度计进行模态频率测试,得到的测试结果为3 440Hz。仿真与测试得到的结果接近,验证了该测试方法的有效性,产生偏差的主要原因可能是制造过程中的加工误差。
- 侯占强肖定邦江平吴学忠
- 关键词：微机电系统模态频率电容调制解调
