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范青

作品数:2 被引量:3H指数:1
供职机构:河北大学物理科学与技术学院更多>>
发文基金:河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:理学机械工程更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇理学
  • 1篇机械工程

主题

  • 2篇光谱
  • 1篇等离子体
  • 1篇等离子体发射
  • 1篇等离子体发射...
  • 1篇铁电
  • 1篇铁电薄膜
  • 1篇离子
  • 1篇激光诱导
  • 1篇激光诱导击穿
  • 1篇激光诱导击穿...
  • 1篇溅射
  • 1篇光谱分析
  • 1篇光谱诊断
  • 1篇光诱导
  • 1篇发射光谱
  • 1篇LI
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 2篇河北大学

作者

  • 2篇郭庆林
  • 2篇陈金忠
  • 2篇李旭
  • 2篇张金平
  • 2篇范青
  • 2篇董开虎
  • 1篇张磊
  • 1篇崔永亮
  • 1篇赵峰

传媒

  • 1篇应用激光
  • 1篇光谱学与光谱...

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2012
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
磁控溅射沉积薄膜预溅射时间的光谱诊断被引量:1
2013年
利用Omni-λ300系列光栅光谱仪、CCD数据采集和处理系统以及光纤导光系统等构成的等离子体光谱分析系统,实现了实时获取射频磁控溅射过程中等离子体光谱,分别对NiTa,TiAl陶瓷靶,NiAl,TiAl合金靶四种靶材的磁控溅射过程产生的等离子体进行监测,以TaⅡ333.991nm,NiⅠ362.473nm,AlⅠ396.153nm和TiⅠ398.176nm为分析线,获得了分析谱线强度随时间的变化规律,并以此为依据确定了预溅射时间,同时研究了不同溅射功率和压强对预溅射时间的影响。
郭庆林范青崔永亮董开虎张磊李旭张金平陈金忠
关键词:等离子体发射光谱光谱分析磁控溅射
LIBS法测定薄膜组份比率精确度的研究被引量:2
2012年
在常压空气环境下,利用脉冲激光作用于硅基铝酸镧薄膜,实验发现激光器能量为20 mJ,脉冲频率3 Hz,薄膜损伤小且能获得较好品质的光谱;并依据两分析元素光谱强度比与原子数比之间成一定的线性关系,对分析线的选择进行了实验研究,发现线性拟合度不仅与分析线对的选择有关,而且与分析样品元素比率大小有关。测量结果表明,当分析线对为La II 394.91 nm/Al I 394.40 nm时,其测量相对误差为0.59%;分析线对为La II 394.91 nm/Al I 396.15 nm时,相对误差是8.32%。可见合理选择分析线对有利于提高薄膜组份比率检测精确度。
张金平董开虎范青赵峰李旭陈金忠郭庆林
关键词:激光诱导击穿光谱铁电薄膜
共1页<1>
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